Unsere Produkte

Vakuumkomponenten
▪ Vakuumflanschkomponenten ISO-KF und ISO-K
▪ Gaseinlassventile, Belüftungsventile, Stromausfallfluter
▪ Vakuumventile
▪ Heizbänder, Heizmanschetten, Heizzelte
▪ Vakuum Durchführungen, D-Sub / Sub-D Stromdurchführungen, Signaldurchführungen
▪ Vakuumpumpen

Plasma Beschichtungszubehör
▪ Sputter-Targets inkl. Bondservice und Tragrohrherstellung
▪ Arc-Verdampfer-Targets
▪ Aufdampfmaterial

Systemkomponenten
▪ Planarkathoden, Sputter-Magnetrons
▪ Rohrkathoden, Sputter-Magnetrons
▪ Mikrowellen Plasmaquellen und Mikrowellengeneratoren
▪ Mittelfrequenz Plasmaquellen
▪ Power Supplies DC-, gepulste DC-, RF-, MF-, LF- und HiPIMS
▪ Anpassnetzwerke für RF und MF

Plasmadiagnostik
▪ Plasma-Monitoring, Optische Plasma-Emissionsspektroskope, Reaktivgassteuerungen, Endpunkterkennung
▪ Langmuir Sonden, Retarding Field Energy Analyzer, Hochfrequenz Messgeräte

Ionenimplantation zur Oberflächenmodifizierung
▪ Ionenimplantationsanlagen für Metalle und Kunststoffe
▪ Mikrobeschleuniger

Kontakt: +49-176-2269 1541